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机译:具有部分相干照明的光学微光刻的拓扑优化
Zhou, Mingdong; Lazarov, Boyan S.; Sigmund, Ole;
机译:快速计算部分相干成像中的相长和相消干涉区域,以提高光学微光刻的分辨率
机译:折射率断层显微镜部分相干照射的优化分析
机译:具有部分相干照明的逆光刻的二进制掩模优化
机译:通过使用具有部分相干照明的焦距序列重建来重建光学形貌
机译:从统计上粗糙的表面散射部分相干的电磁束照明。
机译:使用部分相干照明的透明结构的狼相断层扫描(WPT)
机译:用于战术跟踪的倾斜曲面的模拟和测量部分相干照明散斑效应。
机译:在光学微光刻工艺中优化用于相干光源总和的多个内核以进行光学邻近校正的方法
机译:用于EUV微光刻的衰减器EUV照明光学系统,这种类型的照明光学系统以及具有这种照明系统和照明光学系统的投影曝光设备
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